Reinraum

Der Reinraum im KIP ist ein Reinraum der Klasse 100. Dieser ist im Erdgeschoss auf der Laborseite (Osten) ist ca. 40 m² groß und wird mit Gelblicht beleuchtet. Als Medien sind N2, O2, Ar,DL,VE-Wasser und Reinstwasser verfügbar. Der Reinraum wird zur Herstellung von Mikrostrukturen benutzt. Es stehen dazu eine Nassbank, ein Maskaligner, ein Maskenschreiber, eine UHV-Sputteranlage sowie diverse Kleingeräte zur Verfügung.

 
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